依照國際慣例，無塵凈化級別主要是依據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分規(guī)范的粒子數(shù)量來規(guī)則。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個十分微量的單位上。當然這個規(guī)范中契合灰塵規(guī)范的顆粒相關(guān)于我們常見的灰塵曾經(jīng)是小的微乎其微，但是關(guān)于光學結(jié)構(gòu)而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生十分大的負面影響，所以在光學結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的消費上，無塵是必然的請求。

　　每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就到達了國際無塵規(guī)范的A級。目前應(yīng)用在芯片級消費加工的無塵規(guī)范關(guān)于灰塵的請求高于A級，這樣的高標主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片消費上。微塵數(shù)量被嚴厲控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

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